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干式真空泵
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1、SC系列真空泵特点：
·可以提供抽速为5,15和30m3/h的3款产品SC5/15/30D；
·高极限真空，最低可达0.01mbar；
·低噪声；
·低振动；
·允许进气压力大；
·重量轻；
·能耗低；
2、应用范围：
·电子束焊接；
·激光；
·检漏系统；
·加速器/同步加速器；
·表面分析仪；
·STM’s；
·ELMI；
·小型涡轮泵组；
·搬送室；

基本参数:

技术参数表[50Hz]
Technical Date[50Hz]		 SCROLLVAC SC D 　
SC 5D SC 15D SC 30D SC 60D
抽气速率[m³/h]
Nominal displacement[m³/h]		 5.4 1.3 3.4 4.8
最大压力差[mbar]
Max.differentialpressure[mbar]		 ≤5*10-2 ≤1.5 ≤1.0 ≤2
电机功率[KW]
Nominal motor rating[KW]		 1.5 2.5 2.5 3.5
进气口径[mm]
Inlet diameter[mm]		 3
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