螺杆真空泵-DRYVAC DV系列基本参数：

抽速：450～5000m3/h
    极限真空度：＜0.005mbar
    电机功率：11～30KW
    噪音：65dB(A)
    冷却方式：水冷

1、泵为完全密封结构，对外只有无磨损的O圈静密封，消除泄漏可能，适用于敏感性工艺。
2、尺寸紧凑，占地面积小高度低，进气口三个方向可选，非常方便集成入整体系统/设备中。
3、优化的螺杆/电机设计，使其成为目前市场上最省电的螺杆泵，低于10mbar运行<7Kw(DV650)。
4、泵为变频器控制，集成了温度、排气压强、电流、吹扫气压力等监控保护，提高运行可靠性。
5、水冷泵向环境散热少，噪音低，操作简单。
6、极少的维护保养需求和运行成本，最大的可靠性、灵活性和系统正常运行时间。
螺杆真空泵-DRYVAC DV典型运用：

薄膜太阳能——SiN, ZnO, α-Si/?-Si, CdTe, CIS/CIGS,,etc.

晶硅太阳能——PECVD,拉晶和铸锭
进出片室LL&ULL

显示器和玻璃镀膜

耐磨涂层技术

卷绕镀

真空炉和热处理

真空干燥

电子束焊接

空间模拟

科研领域