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欧瑞莱宝油扩散泵DIP基本参数：
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技术参数表[50Hz] |
DIP |
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DIP 3000 |
DIP 8000 |
DIP12000 |
DIP 20000 |
DIP 30000 |
DIP 50000 |
LEYBOJET 630 |
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抽气速率[l/s] |
3000 |
8000 |
12000 |
20000 |
30000 |
50000 |
12000 |
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最大压力差[mbar] |
≤5*10-7 |
≤5*10-7 |
≤5*10-7 |
≤5*10-7 |
≤5*10-7 |
≤5*10-7 |
≤5*10-7 |
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高真空接口法兰 |
DN250 ISO-KF |
DN 400 ISO-KF |
DN 500 ISO-KF |
DN630 ISO-KF |
DN 800 ISO-KF |
DN 1000ISO-KF |
DN 630 ISO-KF |
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前级真空接口法兰 |
DN63 ISO-KF |
DN 63 ISO-KF |
DN 100 SO-KF |
DN 100 ISO-KF |
DN 160 ISO-KF |
DN 160ISO-KF |
DN 160 ISO-KF |
简述：
DIP系列泵是高真空泵，必须与前级泵一起运行。
DIP系列泵是水冷却泵，利用油扩散原理，在高真空工艺中用来处理真空室；此外，在10-3至10-2mbar压力范围内泵仍具 有很高抽速。