技术参数表[50Hz]

TURBOVAC MAG

MAG W500ip

MAG W800 ip

MAG W1300 ip

MAG W1600 ip

MAG W1700 ip

MAG W2200 ip

MAG W600ip

MAG W900 ip

抽气速率[l/s]

330

550

1100

1600

1610

2100

最大压力差[mbar]

≤1*10^-8

≤1*10^-10

≤1*10^-8

≤1*10^-8

≤1*10^-8

≤1*10^-8

高真空接口法兰

DN68ISO-KF

DN 110 ISO-KF

DN 120 ISO-KF

DN170 ISO-KF

DN170 ISO-KF

DN170ISO-KF

前级真空接口法兰

DN152ISO-KF

DN 245 ISO-KF

DN 280 ISO-KF

DN380 ISO-KF

DN380 ISO-KF

DN380ISO-KF